流量計は液晶パネル製造装置の冷却水配管に使われています





当社の流量計は、液晶テレビに使われている液晶パネル
の製造工程で使われています。

 

流量計FSシリーズの誕生!

例えば、成膜工程では装置内で熱が発生するため、
装置の熱を冷却する必要があります。





その冷却水の流量や温度を監視するのが 流量計
羽根車式流量計 FS-S
こうして誕生したのが流量計FSシリーズです。
冷却水がちゃんと流れているかをデジタル表示、大きな装置でもまとめて管理できるように開発されました。





 

流量計を多系統で設置する場合は…



【流量計・流量センサ】


集合配管 スーパーマニホールド
【集合配管システム マニホールド】
様々な流量計やバルブを搭載して分岐・集合配管を
コンパクトにまとめることができます。


流体制御ユニット
【冷却水ユニット】
冷却水を何十系統も流す大型装置用には
配管部品を架台に組み込みコンパクトにします。
 

この商品で実現しました

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