単結晶シリコンの結晶炉冷却に流量計



当社の流量計KSLシリーズは、半導体の材料になるシリコンウェハーの製造工程で使われています。
 

流量計KSLシリーズの誕生!

例えば、結晶炉(CZ炉)の引き上げ工程では、熱が外に伝わらないよう冷却する必要があります。



その冷却水の流量や温度を監視するのが流量計KSLシリーズ

KSLシリーズは温度計測機能が標準搭載されていて、
冷却水の温度を均一に保つための監視に適しています。

カルマン渦式流量計 KSL-5L/10L/30L/50L

KSL-5L/10L/30L/50L


▲CZ炉が並ぶ様子

おまけ

 

流量計を多系統で設置する場合は…



【流量計・流量センサ】


集合配管 スーパーマニホールド
【集合配管システム マニホールド】
様々な流量計やバルブを搭載して分岐・集合配管を
コンパクトにまとめることができます。


流体制御ユニット
【冷却水ユニット】
冷却水を何十系統も流す大型装置用には
配管部品を架台に組み込みコンパクトにします。
 

この商品で実現しました

ページト

ップへ



Copyright (c) リガルジョイント all rights reserved.