デジタルマスフローコントローラ/メーター
GF40 (エラストマシール) / GF80 (メタルシール)
・装置の運転を停止させずに簡単にガス種、流量の変更が出来る。
・精度を損なうことなく、フルスケールの値を変更できる。
・仕様ごとの在庫を持つ必要がなくなる。
・診断機能で本体の異常検知が可能。
・MultiFlo™テクノロジー
・0点安定性を約束する温度補償回路
・従来モデルとの高い互換性
・エラストマーシール or メタルシール
・各種アナログI/O (4-20mA,0-20mA,0-5vdc)各種デジタルコミニュケーションへ(DeviceNet,ProFibus, RS485)の対応
・専用サービスポートによる診断機能、ガス種・流量値変更の利便性
マルチガス、マルチフロー専用のソフトをお手元のPCにダウンロードいただき、MFCと接続するだけで配管から取り外しをすることなく、お手元で簡単に操作が出来ます。
用途 |
- ・ソーラーセル、燃料電池、光ファイバー、ガラス及び金属コーティング。拡散炉、各種工業炉。
- ・バイオリアクター/ 空気、酸素、窒素、二酸化炭素など。
- ・OEM/ 多様なガス種、流量値の要求に対応し、MutiFlo™機能が、真価発揮をし、使用数量削減、
- 予備品削減。
- ・R&D、分析、研究分野
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仕様表
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流量 |
コントローラ |
3 sccm F. S〜50 slm N2換算 |
メーター |
3 sccm F. S〜50 slm N2換算 |
精度 |
±1% S.P. (35-100%FS)
±0.35% F.S. (2-35%FS) |
再現性 |
<±0.2 %S.P. |
周囲温度範囲 |
5-50 ℃ |
外部リークレート |
GF40 1x10-10 Pa・m3/s He
GF80 1x10-11 Pa・m3/s He |
I/O |
0-5 VDC, 4-20 mA, 0-20 mA |