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デジタルマスフローコントローラ/メーター

GF40 (エラストマシール) / GF80 (メタルシール)

  よくある質問  IKKATSU ASSY 

マスフローコントローラ GF40/80
 

装置の運転を停止させずに簡単にガス種、流量の変更が出来る。
・精度を損なうことなく、フルスケールの値を変更できる。
・仕様ごとの在庫を持つ必要がなくなる。
・診断機能で本体の異常検知が可能。
・MultiFlo™テクノロジー

・0点安定性を約束する温度補償回路
・従来モデルとの高い互換性
・エラストマーシール or メタルシール
・各種アナログI/O (4-20mA,0-20mA,0-5vdc)各種デジタルコミニュケーションへ(DeviceNet,ProFibus, RS485)の対応
・専用サービスポートによる診断機能、ガス種・流量値変更の利便性

 

マルチガス、マルチフロー専用のソフトをお手元のPCにダウンロードいただき、MFCと接続するだけで配管から取り外しをすることなく、お手元で簡単に操作が出来ます。

マスフローコントローラ GF40/80
 

用途
  • ・ソーラーセル、燃料電池、光ファイバー、ガラス及び金属コーティング。拡散炉、各種工業炉。
  • ・バイオリアクター/ 空気、酸素、窒素、二酸化炭素など。
  • ・OEM/ 多様なガス種、流量値の要求に対応し、MutiFlo™機能が、真価発揮をし、使用数量削減、
  •    予備品削減。
  • ・R&D、分析、研究分野

 

仕様表

流量 コントローラ 3 sccm F. S〜50 slm N2換算
メーター 3 sccm F. S〜50 slm N2換算
精度 ±1% S.P. (35-100%FS)
±0.35% F.S. (2-35%FS)
再現性 <±0.2 %S.P.
周囲温度範囲 5-50 ℃
外部リークレート GF40 1x10-10 Pa・m3/s He
GF80 1x10-11 Pa・m3/s He
I/O 0-5 VDC, 4-20 mA, 0-20 mA
 
ご注文の際は、お問い合わせください

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