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デジタルマスフローコントローラ /メーター

GF100

  よくある質問  IKKATSU ASSY 

マスフローコントローラ GF40/80
 

MultiFloTMテクノロジーよるガス種とフルスケール流量レンジを選択・変更
・ユーザーフレンドリーなインターフェイスの診断機能とサービスポート
・耐腐食性のハステロイ製T-Riseセンサによる長期安定性能
・超高速300msのセトリングタイムを実現(GF125/GF135)
・SDS(Safty Delivery System)、HA(高精度)オプション
・PTI(Pressure Transient Insesitivity)機能による優れた圧力変動耐性(GF125/GF135)
・リアルタイムでのガス流量異常診断&検出機能を搭載(GF135)

GF100/GF120/GF125/GF135
 

用途

  • ・最先端半導体製造プロセスのエッチャー、CVD、拡散炉

  • ・最先端化合物半導体MO-CVD

  • ・OEM/多用なガス種、流量レンジへのMultiFloTMでの対応による
     使用ガスライン/予備在庫数量削減

  • ・PTI機能によるガスシステムの小型軽量化

  • ・ガス流量異常診断&検出機能で、クリティカルなプロセスガスでの長期安定流量制御


 

 

仕様表

型式 GF100 GF120 GF125
流量 3 sccm F. S〜50 slm N2換算
精度 ±1% R.S (35-100%FS)
±0.35% F.S. (2-35%FS)
繰り返し性と再現性
<±0.15%R.D.
周囲温度範囲 10-50 ℃
応答性 1s以下 300〜
700ms以下
外部リークレート  1x10-12 Pa・m3/s (He)以下
表面祖度 0.25µm 0.1µm Ra
I/O 0-5Vdc/RS485/DeviceNetTM
Multi-Flo オプション 対応
PTI 未対応 未対応 対応
 
ご注文の際は、お問い合わせください

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