こんな課題はありませんか
- 純水や薬液の流量を計測したい
- 振動のある環境でも安定して流量を検出したい
- 狭いスペースに流量計を設置したい
- 接液部の材質を考慮して流量計を選定したい
超音波カルマン渦式流量計なら解決!
純水・薬液対応の超音波流量計
- 純水・薬液対応の超音波流量計
- コンパクトで軽量、振動に強い
- 検出方式にカルマン渦+超音波センサを採用し、振動に強く安定した流量検出が可能
- 接液部材質にはPFAのみを採用し、純水や薬液などオールマイティに計測が可能
- 出力はアナログ出力(0~10V・1~5V・4~20mA)とパルス出力の2種類
- 軽量・コンパクト設計で、直接配管も容易、取付場所を選ばず配管が可能
- 機械的可動部のないメンテナンスフリー構造。
- 当社表示器DPMと組み合わせる事により、瞬時表示、アラーム出力(2接点)も可能
- ご要望に応じて配管延長や接続用継手もご用意できます。
ご購入されたお客様の声
薬液対応なのにリーズナブルだったから

用途・導入事例
- 半導体製造装置の純水・薬液配管
- 産業機器・製造装置の流量管理
- 冷却水などの流量計測
仕様

※PFAを腐食させない流体とします。
電気配線

寸法図


































