単結晶シリコンの結晶炉冷却に流量計

当社の流量計KSLシリーズは、半導体の材料になるシリコンウェハーの製造工程で使われています。

流量計KSLシリーズの誕生！

例えば、結晶炉(CZ炉)の引き上げ工程では、熱が外に伝わらないよう冷却する必要があります。

その冷却水の流量や温度を監視するのが流量計KSLシリーズ！
KSLシリーズは温度計測機能が標準搭載されていて、冷却水の温度を均一に保つための監視に適しています。

流量計を多系統で設置する場合は…

センサをまとめる【流量計・流量センサ】

マニホールドをまとめる【集合配管システム　マニホールド】

様々な流量計やバルブを搭載して分岐・集合配管をコンパクトにまとめることができます。

【冷却水ユニット】

冷却水を何十系統も流す大型装置用には配管部品を架台に組み込みコンパクトにします。