デジタルマスフローコントローラ デジタルマスフローコントローラ /メーター GF100　

GF100

• MultiFlo^TMテクノロジーよるガス種とフルスケール流量レンジを選択・変更
• ユーザーフレンドリーなインターフェイスの診断機能とサービスポート
• 耐腐食性のハステロイ製T-Riseセンサによる長期安定性能
• 超高速300msのセトリングタイムを実現(GF125/GF135）
• SDS(Safty Delivery System)、HA(高精度)オプション
• PTI（Pressure Transient Insesitivity)機能による優れた圧力変動耐性(GF125/GF135)
• 機械的可動部のないメンテナンスフリー構造。
• リアルタイムでのガス流量異常診断＆検出機能を搭載(GF135)
• ご要望に応じて配管延長や接続用継手もご用意できます。

用途

• 最先端半導体製造プロセスのエッチャー、CVD、拡散炉
• 最先端化合物半導体MO-CVD
• OEM/多用なガス種、流量レンジへのMultiFlo^TMでの対応による
  　使用ガスライン/予備在庫数量削減
• PTI機能によるガスシステムの小型軽量化
• ガス流量異常診断＆検出機能で、クリティカルなプロセスガスでの長期安定流量制御

仕様表

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