液晶パネル製造装置の冷却水配管に利用される流量計

流量計は液晶パネル製造装置の冷却水配管に使われています

当社の流量計は、液晶テレビに使われている液晶パネルの製造工程で使われています。

流量計FSシリーズの誕生！

例えば、成膜工程では装置内で熱が発生するため、装置の熱を冷却する必要があります。

その冷却水の流量や温度を監視するのが 流量計！

こうして誕生したのが流量計ＦＳシリーズです。
冷却水がちゃんと流れているかをデジタル表示、大きな装置でもまとめて管理できるように開発されました。

流量計を多系統で設置する場合は…

センサをまとめる【流量計・流量センサ】

マニホールドをまとめる【集合配管システム　マニホールド】

様々な流量計やバルブを搭載して分岐・集合配管をコンパクトにまとめることができます。

【冷却水ユニット】

冷却水を何十系統も流す大型装置用には配管部品を架台に組み込みコンパクトにします。