こんな課題はありませんか
- 真空ラインの流路を自動で開閉したい
- 真空の供給・遮断を電気信号で制御したい
- 装置の運転に連動して流路を切り替えたい
- 真空設備の制御を省力化したい
真空用電磁弁なら解決！
ガスライン内、多目的真空電磁弁
- 真空シール及び軸シールには、フッ素ゴムを使用。
- 取り合い部は、弊社にてユーザーのご要望通りに加工致します。
用途・導入事例
- 真空装置・真空設備の流路制御
- 半導体製造装置の真空ライン
- 産業機器・製造装置の真空制御
- 真空吸着を利用する自動化設備
仕様
お客様のご要望に沿って、取り合い部の加工を致します。下図は加工例です。
