ユーザビリティを考慮した集合配管
- 複数の（最大１０連）流量計を搭載し、バルブ機能と集中配管を一体化させた水の集積ユニット。
- 流量調整バルブが側面ではなく上面にあり（流量計の表示面）、ユーザビリティに優れた流量計集合配管。
- 半導体装置の国際化に向けて開発した製品。
- 集合配管”フリーポートマニホールド”と組み合わせて、IN側及びOUT側を省スペースで組み立てることもできる。
- マニホールド本体に加え、接続する配管ラインの設計製作も対応。→配管 ASSY
当社マニホールドラインナップの中で唯一、流量調整バルブが側面ではなく流量計の表示面と同じ面にある製品です。
仕様表
下記のようにアダプター/バルブ/プラグ等の組み合わせで、様々な流路パターンが設計できます。
構造
外観寸法図
注文形式
- 接続する配管も含めた、設計製造も可能。→IKKATSU ASSY頁へ
